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深圳國(guó)際半導(dǎo)體展（SEMI-e 2025）于9月12日?qǐng)A滿落幕，上海漢虹精密機(jī)械有限公司憑借碳化硅長(zhǎng)晶技術(shù)收獲廣泛關(guān)注。展會(huì)期間，漢虹首次公開(kāi)展示了由自主研發(fā)設(shè)備制備的8英寸LPE碳化硅晶錠及配套長(zhǎng)晶設(shè)備，同時(shí)展出了其8英寸PVT碳化硅晶錠（電阻式）及相應(yīng)長(zhǎng)晶設(shè)備，其展示效果成為展會(huì)焦點(diǎn)之一，彰顯了漢虹設(shè)備在碳化硅長(zhǎng)晶領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力。

 技術(shù)成果：高品質(zhì)碳化硅晶錠引業(yè)界矚目

漢虹在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)展示了自主研發(fā)制備的8英寸碳化硅晶錠(LPE與PVT），以優(yōu)良的晶體形態(tài)、可控的表面微凸度和較低的缺陷密度贏得了專業(yè)觀眾的好評(píng)。展示了漢虹在碳化硅長(zhǎng)晶工藝方面的技術(shù)能力。晶錠產(chǎn)品表現(xiàn)出較好的晶體形態(tài)和表面質(zhì)量，體現(xiàn)了公司在材料制備領(lǐng)域的技術(shù)積累。

大尺寸碳化硅晶錠能夠顯著擴(kuò)大單片晶圓上的可用芯片制造面積，在同等生產(chǎn)條件下不僅大幅提高芯片產(chǎn)量，還能有效降低單位芯片制造成本。隨著AR眼鏡、新能源汽車、光伏儲(chǔ)能等行業(yè)對(duì)高性能碳化硅襯底需求的持續(xù)增長(zhǎng)，漢虹的技術(shù)突破為行業(yè)發(fā)展提供了重要支撐。

LPE碳化硅長(zhǎng)晶技術(shù)：創(chuàng)新方案展示

漢虹還通過(guò)海報(bào)展示了8-12英寸電阻式PVT碳化硅長(zhǎng)晶爐，該設(shè)備采用多溫區(qū)控制技術(shù)，能夠?qū)囟取毫Φ葏?shù)進(jìn)行控制。通過(guò)熱場(chǎng)旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，設(shè)備有助于保持溫度場(chǎng)的均勻性。

設(shè)備設(shè)計(jì)融合自動(dòng)化與智能化技術(shù)，致力于支持規(guī)模化量產(chǎn)需求。通過(guò)優(yōu)化的溫場(chǎng)控制與精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，力求晶體生長(zhǎng)過(guò)程的穩(wěn)定性和一致性。

PVT碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備：技術(shù)優(yōu)化展示

漢虹還通過(guò)海報(bào)展示了8-12英寸電阻式PVT碳化硅長(zhǎng)晶爐，該設(shè)備采用多溫區(qū)控制技術(shù)，能夠?qū)囟取毫Φ葏?shù)進(jìn)行控制。通過(guò)熱場(chǎng)旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，設(shè)備有助于保持溫度場(chǎng)的均勻性。設(shè)備設(shè)計(jì)融合自動(dòng)化與智能化技術(shù)，致力于支持規(guī)模化量產(chǎn)需求。通過(guò)優(yōu)化的溫場(chǎng)控制與精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，力求晶體生長(zhǎng)過(guò)程的穩(wěn)定性和一致性。

互動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)：專業(yè)觀眾駐足，深入洽談合作

展會(huì)期間，漢虹展位吸引了大量專業(yè)觀眾駐足交流。漢虹團(tuán)隊(duì)全天候接待了來(lái)自半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的企業(yè)代表與技術(shù)人員，就碳化硅長(zhǎng)晶工藝的創(chuàng)新突破與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用進(jìn)行了深入探討。

來(lái)自新能源汽車、光伏儲(chǔ)能、5G通信等領(lǐng)域的客戶對(duì)漢虹展出的大尺寸碳化硅長(zhǎng)晶技術(shù)方案表現(xiàn)出濃厚興趣，特別是在高功率應(yīng)用場(chǎng)景下的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。多位專業(yè)觀眾在現(xiàn)場(chǎng)詳細(xì)咨詢了設(shè)備參數(shù)與工藝細(xì)節(jié)，并對(duì)漢虹的技術(shù)創(chuàng)新給予了積極評(píng)價(jià)。

半導(dǎo)體設(shè)備制造商、材料供應(yīng)商及科研院所的代表與漢虹技術(shù)人員進(jìn)行了多輪洽談，就未來(lái)可能的技術(shù)合作與市場(chǎng)拓展進(jìn)行了初步溝通，為后續(xù)合作奠定了良好基礎(chǔ)。展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)交流氣氛熱烈，體現(xiàn)了行業(yè)對(duì)先進(jìn)碳化硅長(zhǎng)晶技術(shù)的高度關(guān)注。

未來(lái)展望：攜手共創(chuàng)碳化硅產(chǎn)業(yè)新未來(lái)

在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，漢虹還通過(guò)多種多樣的形式，系統(tǒng)展示了公司在硅材料長(zhǎng)晶設(shè)備、化合物長(zhǎng)晶設(shè)備及 PVD 鍍膜設(shè)備等領(lǐng)域的產(chǎn)品。這些產(chǎn)品展示了漢虹在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)品線布局。漢虹將繼續(xù)專注于半導(dǎo)體長(zhǎng)晶設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)，為客戶提供設(shè)備及工藝支持。公司致力于為客戶提供從設(shè)備到工藝的全流程服務(wù)，幫助客戶實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線建設(shè)與投產(chǎn)。基于市場(chǎng)需求與客戶反饋，漢虹將持續(xù)改進(jìn)設(shè)備性能，與客戶及行業(yè)伙伴共同推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步。目前漢虹設(shè)備已在多家客戶項(xiàng)目中投入應(yīng)用。